Das Oberflächenlabor ist eine relativ neue Einrichtung, die als Teil des gemeinsamen Technikums der Universität und der Stiftung caesar entstanden ist. Kernaufgaben sind das sehr präzise Bearbeiten empfindlicher Materialien (Halbleiter, Kristalle für optische Zwecke, Gläser) und vor allem das Präparieren von deren Oberflächen. Je nach Material können Oberflächengüten von wenigen Nanometern Restrauigkeit erreicht werden; die Planität kann im Bereich von weniger als 100 Nanometern Abweichung auf einer Fläche mit 4 Zoll Durchmesser liegen.
Die Ausstattung:
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Zudem stehen Polierplatten für Vorbereitungsarbeiten und Polituren mit geringeren Genauigkeitsanforderungen zur Verfügung. Ein hochwertiges Vakuum-Bonding-Gerät zum Aufkleben von Proben und insbes. Wafern auf Glasträger ergänzt die Ausstattung.
