Oberflächenlabor: Poliermaschine PM5

Oberflächenlabor: Poliermaschine PM5


Poliermaschine Logitech PM5

Die Logitech PM5 ist eine universelle Poliermaschine, die standardmäßig für das Bearbeiten von Wafern bis zu einem Durchmesser von 4 Zoll ausgelegt ist. Ein typischer Poliervorgang beinhaltet zunächst das Planschleifen der Probe; dafür wird, je nach Material, eine Schleifscheibe oder eine Polierscheibe, die mit Schleifmittel benetzt wird, genutzt. Anschließend folgt das Läppen, das eine Art verbessertes Schleifen darstellt. Es wird mittels Läppscheibe und passender Läppflüssigkeit vorgenommen. Schließlich folgt das Polieren - dafür kommt je nach Material sehr feinkörniges Läpppulver auf einer Polierscheibe oder auch spezielle Poliermittel zum Einsatz. Das Ergebnis ist eine optische Oberfläche.

In Materialien wie Lithiumniobat-Kristallen kann eine Restrauigkeit von wenigen Nanometern erreicht werden. Ein weiterer kritischer Parameter neben der Oberflächenqualität ist die Planität, also die Ebenheit pro Frläche, die erreicht wird. Die Maschine erlaubt, bei einer Probengröße von 4 Zoll eine Planität von weniger als 100 Nanometern zu erreichen.


Dieses Bild zeigt die Poliermaschine mit aufgesetztem Probenhalter ("Jig"). Auf ein Glassubsrat geklebte oder mechanisch fest montierte Proben können so mit vorgegebenem Druck auf die Polierscheibe aufgesetzt werden. Der Jig selbst kann auf der Polierscheibe rotieren.